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Dongbin Kim 논문수 · 이용수 1,061

소속기관: Korea Research Institute of Standards and Science

소속부서: Vacuum Center

주요 연구분야: 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

연구경력: -

저자정보 . 논문
공저자 . 저널

저자의 연구 키워드

저자의 연구 키워드: #3D NAND; #공기 역학 렌즈; #공정진단; #나노입자; #디스플레이; #반도체; #사중 극자; #실리콘; #실리콘 나노입자; #실리콘 박막; #실시간; #오염입자; #입경 분포; #입자; #입자 집속; #입자분포; #입자크기; #증기압; #ACL; #Aluminum; #Anodizing; #Contaminant; #CVD; #Deflector; #EDS; #Electric field; #etch rate; #Etching; #Flatness; #Growth rate; #H₂S; #hardmask; #HWCVD; #In-situ particle monitor (ISPM); #Mo(CO)<SUP>6</SUP>; #MoS₂; #Nanoparticle; #Nickel mesh; #Particle; #PBMS; #PBMS(particle beam mass spectrometer); #PCDS; #PECVD; #PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition); #Raman; #Raman spectroscopy; #Scanning mobility particle sizer (SMPS); #Scattering; #Sealing; #SEM; #Size distribution; #SMPS; #Stokes number

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