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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.5
수록면
48 - 51 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2008

점회절 광간섭계를 이용한 연마된 실리콘 웨이퍼 표면형상 측정
권택민 ,  김승우 ,  김학용 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008.05 학술대회자료

2007

연마된 실리콘 웨이퍼의 표면형상 측정을 위한 진동 둔감 광 간섭계
권택민 ,  김승우 ,  김학용 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.06 학술대회자료

2006

진동 둔감 광 간섭계를 이용한 실리콘 웨이퍼 표면형상 측정
권택민 ,  김학용 ,  김승우 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.06 학술대회자료

초록· 키워드

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We devised a vibration-insensitive interferometer with a common-path scheme of generating the reference wave directly by transmitting the measurement wave through a single-mode fiber. This fiber-diffraction interferometer enables to cancel out the dominating vibration effect encountered commonly in both the reference and measurement waves in the due course of the two waves’ interference.Besides, to suppresss parasite vibration disturbances caused to interferometer hardware components, a special type of spatial phase-shifter is added to capture four phase-shifted interferograms simultaneously without time delay using a single camera shot.
#interferometer(간섭계) #profile measurement(표면형상 측정) #common-path(공통경로) #spatial phase shifter(공간위상천이 장치)

목차

Abstract
1. 서론
2. 진동에 둔감한 점회절 간섭계
3. 측정 결과
4. 결론
후기
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실리콘 웨이퍼의 두께 및 군굴절률의 동시 측정 기술
진종한 ,  맹새롬 ,  박정재 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013 .10

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-552-014790612