구조세라믹스의 ELID경면연삭 가공 특성

곽태수; 남우철; 김유영; 김경년; 이용철

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 곽태수 남우철 김유영 김경년 이용철

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2009년도 춘계학술대회

발행연도: 2009.6

수록면: 201 - 205 (5page)

이용수

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2013

횡형 로터리 연삭기를 이용한 SUS420의 ELID경면연삭 가공

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2011

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2009

구조세라믹스의 ELID경면연삭 가공 특성

곽태수 , 남우철 , 김유영 외 2명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2009.06 학술대회자료

구조세라믹스의 ELID경면연삭 가공 특성

곽태수 , 남우철 , 김유영 외 2명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2009.06 학술대회자료

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This study has been focused on properties of mirror surface grinding technology by ELID(ELectrolytic In-process Dressing) for structural ceramics using in high precision structural parts on semi conductor manufacturing processes. ELID grinding is an excellent technique for mirror grinding of various advanced metallic or nonmetallic materials as hard to machining materials. The experimental studies have been carried out to get mirror surface for grinding of structural ceramics, SiC, Al₂O₃ and AlN. Grinding process of the ceramics is carried out with varying mesh type, depth of cut and feed rate using diamond wheel. The machining result of the surface roughness and condition of ground surface, have been analyzed by use of surface roughness tester, SEM and three dimensional surface profiler measurement system.

#structural ceramics(구조세라믹) #mirror surface grindning(경면연삭) #surface roughness(표면조도) #Al₂O₃(알루미나) #SiC(탄화규소) #AlN(질화알루미늄)

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논문수 112 이용수 11,593

남우철

소속기관 한국기계가공학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 5 이용수 704

김유영

소속기관 광주과학기술원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 15 이용수 596

김경년

소속기관 거제대학

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 21 이용수 1,588

이용철

소속기관 경남과학기술대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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