레이저 산란을 이용한 마이크로 부품의 표면성상 모니터링

하태호; 송준엽; 이창우

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 하태호 (한국기계연구원) 송준엽 (한국기계연구원) 이창우 (한국기계연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2009.6

수록면: 247 - 248 (2page)

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