대면적 나노구조 패턴 제작을 위한 레이저 간섭 리소그래피 기술을 활용한 가간섭성 회절 기술에 관한 연구

김상민 ,  박창수 ,  이준상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

UV 나노임프린트 리소그래피를 이용한 모스 아이 나노 구조 제작

배병주 ,  이헌 ,  홍성훈 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

Sub-50㎚급 나노임프린팅 장비기술 및 응용

이재종 ,  최기봉 ,  김기홍 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2006 .05

양면 열-나노임프린트를 이용한 극저반사 필름 제조

심영보 ,  여나은 ,  조상욱 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

대면적 롤 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술

임형준 ,  정상희 ,  이상욱 외 5명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

나노임프린팅 리소그래피와 수소이온조사를 이용한 자성패턴 제작에 관한 연구

한정진 ,  신상철 ,  김상훈 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

고효율 광학 소자를 위한 전자빔 및 나노임프린트 기술

조상욱 ,  오승훈 ,  김창석 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2009 .06

나노임프린트 리소그래피 기술 동향

정준호 ,  신영재 ,  이응숙 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .03

Hybrid Imprint Lithography 공정을 이용한 3D 구조물 제작

신상현 ,  김한형 ,  양승국 외 5명

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

나노 임프린트 장비응용 기능성 나노구조물 제작

이재종 ,  최기봉 ,  김기홍 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .06

Nanoimprint Lithography 기술의 이해

강신일

전자공학회지

2006 .04

나노임프린트 리소그래피에서의 임프린트 속도에 따른 폴리머 충진 현상 해석

류지형 ,  이재종 ,  임형준 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

Roll mold용 180㎚ 급 대면적 (300㎜ × 900㎜) 패턴 제작

최수현 ,  김우영 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

나노임프린트 리소그래피 기술의 연구 및 응용 동향

나도백 ,  박장선

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2008 .10

나노임프린트공정 기반 나노전사공정을 이용한 나노구조체 제작기술

황순형

고분자 과학과 기술

2020 .04

나노임프린트 리소그래피 공정에서의 잔류층 두께 측정

허정철 ,  김경웅 ,  김광섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2012 .04

나노임프린트 리소그래피를 이용한 유기소자용 전극형성에 관한 연구

이종화 ,  홍성훈 ,  이헌

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

나노임프린트 리소그래피를 통한 sub micron급 2차원 나노 패턴의 다층 구조물 제작에 관한 연구

한강수 ,  홍성훈 ,  이종화 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01