Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 ,  이석규 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Sputter로 증착된 케이트 SiO₂ 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성에 관한 연구

박광현 ,  남승의 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

X선회절을 이용한 Si / SiO₂ 및 Si / SiO₂ / poly - Si의 응력측정

임규홍 ,  김도진 ,  김상기 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Electronic and Optical Properties of Al₂O₃/SiO₂ Thin Films on Si Substrate

Lee Eun Kyoung ,  Tahi ,  Dahlang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

ULSI 확산억제막으로 적합한 Ti - Si - N의 조성 범위에 관한 연구

박상기 ,  강봉주 ,  양희정 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .10

A first principles study on magnetism of Fe3Si on Si(001) and Si(111) substrates

Do ,  j Odkhuu ,  Won Seok Yun 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

승온시 Si₂H6 가스 주입을 이용한 표면 SiO₂의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피텍시에 관한 연구

최태희 ,  남승의 ,  김형준

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09

Analysis of Si-, O- and H- bonding effect at Si-SiO₂ interface for c-Si surface passivation quality by thermal oxidation

Jiyoon KANG ,  Minhan JEON ,  Donghyun OH 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

SiO₂/Si₃N₄/SiO₂와 Si₃N₄/SiO₂/Si₃N₄ 터널 장벽을 사용한 금속 실리사이드 나노입자 비휘발성 메모리소자의 열적 안정성에 관한 연구

이동욱 ,  김선필 ,  한동석 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

SiO₂/Si 및 Si 기판에 rf magnetron sputtering법으로 증착된 적외선 센서용 La_0.7Sr_0.3MnO₃ CMR 박막 저항체 특성연구

최선규 ,  A. Sivasanka ,  Reddy 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2008 .03

Si(100), Si(111)기판위에 RF - magnetron sputtering법으로 성장된 CeO₂박막의 특성

장선희 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

SiO2 and TiO2 thin film deposited by DC pulsed magnetron sputtering with the process variable working pressure

Hye jin jeong ,  Moon Suhk Suh

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Growth and Magneto-transport properties of c-axis oriented La_0.7Sr_0.3MnO₃ thin films on MgO buffered SiO₂/Si substrate

Young-Min Kang ,  Dae-Gil Yoo ,  Sung-Yun Lee 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .06

ICP가 sputtered poly - Si thin film에 미치는 영향

주정훈 ,  박원규

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Si(001)2×1 표면에 성장된 극초박막에 관한 연구

Hyun-Jeong Kim ,  Robe ,  t L. Johnson

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

하이브리드 코팅 시스템을 이용한 Ti-Si-N 박막의 Si 함량에 따른 열화학적 특성 및 기계적 특성 평가

최종원 ,  김도근 ,  어광준 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08