비구면 유리렌즈 성형용 SiC 코어의 DLC 코팅에 관한 연구

박순섭; 원종호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박순섭 (한국생산기술연구원) 원종호 (충남대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.27 No.12

발행연도: 2010.12

수록면: 28 - 32 (5page)

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Technical demands for aspheric glass lens formed in market increases its application from simple camera lens module to fiber optics connection module in optical engineering. WC is often used as a metal core of the aspheric glass lens, but the long life time is issued because it fabricated in high temperature and high pressure environment. High hard thin film coating of lens core increases the core life time critically. Diamond Like Carbon(DLC) thin film coating shows very high hardness and low surface roughness, i.e. low friction between a glass lens and a metal core, and thus draw interests from an optical manufacturing industry. In addition, DLC thin film coating can removed by etching process and deposit the film again, which makes the core renewable. In this study, DLC films were deposited on the SiC ceramic core. The process variable in FVA(Filtered Vacuum Arc) method was the substrate bias-voltage. Deposited thin film was evaluated by raman spectroscopy, AFM and nano indenter and measured its crystal structure, surface roughness, and hardness. After applying optimum thin film condition, the life time and crystal structure transition of DLC thin film was monitored.

#Filtered Vacuum Arc (FVA #여과 진공 아크) #Diamond-like Carbon (DLC) #Aspheric Glass Lens (비구면 유리렌즈) #Silicon Carbide (실리콘 카바이드)

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박순섭, 원종호. 실리콘 카바이드의 초정밀 연삭 가공에 관한 연구. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2009

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원종호

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