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주종현 (중앙대학교) 임세라 (중앙대학교) 김석민 (중앙대학교) 석종원 (중앙대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2010.11
수록면
4,306 - 4,310 (5page)

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A novel approach is proposed to fabricate a glassy carbon mold with micro cavities for precision glass molding of micro structures. A master pattern was fabricated by photo lithography technique and a mold for casting the furan resin was prepared by PDMS replication process. The furan resin was poured on the PDMS mold and carefully cured in vacuum condition for minimizing the micro pores. Finally, the fabricated polymer precursor was pyrolysized in the inert atmosphere at high temperature and turn to the glassy carbon mold with micro cavities. To minimize the mechanical deformation and degradation of surface properties due to the micro pores, the contents of monomer, initiator, and solvent for precursor, and the processing conditions in the curing and the carbonization stages were optimized. We also analyzed the effects of material contents and processing conditions on the weight loss and volumetric shrinkage during the curing and carbonization processes.
#furan resin(퓨란수지) #glassy carbon(글라시 카본) #micro glass molding(마이크로 유리성형) #micro fabrication(마이크로 가공)

목차

Abstract
1. 서론
2. 글라시 카본 마이크로 몰드의 제작
3. 공정 조건에 따른 질량감소 및 부피감소율 분석
4. 미세 기포 제거 공정 개발
5. 결론
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