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학술대회자료
저자정보
김형인 (연세대학교) 박재형 (연세대학교) 전유승 (연세대학교) 강석태 (연세대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
242 - 242 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

Si(100)에 이온 주입 시 dose rate에 따른 damage profile과 sheet resistance의 변화
김형인 ,  정영완 ,  강석태 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료
Si(100)에 low energy로 Ultra high dose 이온 주입 시 Dose rate 변화에 따른 Sheet Resistance
김형인 ,  박재형 ,  전유승 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

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