유연힌지형 정밀 스테이지의 모델링 및 운동제어

김영식; 김재익; 김인수

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김영식 (금오공과대학교) 김재익 (금오공과대학교) 김인수 (금오공과대학교)

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제9권 제6호

발행연도: 2010.12

수록면: 51 - 58 (8page)

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This paper suggests a control technique of the two axes precision stage. The stage is supported by four flexible spring hinges and driven by two piezoelectric actuators. The dynamic motion of the stage is analysed by the finite element method and identified by the frequency domain modeling technique based on the experimental data. The sliding mode control with integrator is applied to improve the tracking ability of the stage to the complex reference input signal. Experimental results demonstrate that the proposed modeling schemes and control algorithm can be used effectively for the two axes stage.

#Two Axes Stage(2축 스테이지) #Piezoelectric Actuator(압전 구동기) #Sliding Mode Control(슬라이딩 모드 제어) #Frequency Domain Modeling(주파수 영역 모델링)

참고문헌 (10)

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1. [학술지(정기간행물)] - Jeong K. W / 2007 / Modeling and robust control of a nano-stage using the frequency response analysis / 한국공작기계학회 : 414 ~ 419

3. [학술지(정기간행물)] - Lee G. M / 1997 / 압전 세라믹스 주파수 소자의 소개와 개발 동향 / The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers : 172 ~ 178

4. [학술지(정기간행물)] - Kaizuka, H. / 1988 / A Simple Way to Reduce Hysteresis and Creep When Using Piezoelectric Actuators / Japanese Journal of Applied Physics 27 (5) : 773 ~ 776

5. [학술지(정기간행물)] - Ping Ge / 1995 / Modeling hysteresis in piezoceramic actuators / Precision Engineering 17 (3) : 211 ~ 212

6. [학술지(정기간행물)] - .M. Goldfarb / 1997 / Lumped parameter Electro-mechanical Model for Describing the Nonlinear Behavior of Piezoelectric Actuators / Transactions of the ASME 119 : 478 ~ 485

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