스퍼터링 기술의 발전과 전망

정재인 ,  양지훈 ,  장승현 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

Influence of sputtering parameter on the properties of silver-doped zinc oxide sputtered films

S. H. Jeong ,  S.B.Lee ,  J.-H. Boo

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

Low-pressure Ion Beam Assisted Magnetron Sputtering

Igo ,  Svadkovski ,  Eungsun Byon 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

RF reactive magnetron sputtering으로 제조한 TiO 박막의 구조 및 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재천 외 4명

한국재료학회지

2002 .01

Sputtering Deposition 의 특성과 그 응용

권식철

한국표면공학회지

1981 .03

Split sputter mode: a novel sputtering method for flat-panel display manufacturing

Pie ,  alisi ,  Fabio 외 8명

Journal of information display

2011 .01

Simulation and Characteristic Measurement with Sputtering Conditions of Triode Magnetron Sputter

김현후 ,  임기조

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2004 .01

Co-Sputtering 방법을 이용한 고체산화물 연료전지의 복합 전극 개발

이윤호 ,  차석원 ,  장익황 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

저온 플라즈마 및 Sputter Etching 처리에 의한 염색직물의 심색화 가공

박병기 ,  이문철 ,  박건용

한국염색가공학회지

1996 .04

폴리에스테르 직물의 Sputtering 착색

조연정 ,  구강

한국섬유공학회지

1997 .01

DC Sputtering 방법을 이용한 몰리브덴 박막의 특성

김석기 ,  이정철 ,  강기환 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

Sputtering and MBE Process

김봉열

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

Sputtering 방법으로 증착된 다이아몬드 상 탄소 박막의 특성

문혜수 ,  유현지 ,  박인규 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Effect of Sputtering Parameters on The Luminescent Properties of ZnO:Er Thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering

송현돈 ,  김영진

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

Sputtering과 Metallization

김민선 ,  윤능구

섬유기술과 산업

2009 .01

Effects of sputtering gas on the film structure and mechanical properties for the preparation of CNx films by reactive sputtering

Tomoyasu Shi ,  oya ,  Yukihi 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

PZT Sputtering Target 제작

이기성 ,  조준석 ,  이문희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

A STUDY ON THE FABRICATION AND PROPERTIES OF RF SPUTTER CLEANING SYSTEM USING INDUCTIVELY COUPLED PLASMA

Lee ,  W.S. ,  lee 외 3명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01