ToF-SIMS imaging of block copolymers in combination with AFM : what are the new ways for 3D chemical characterization? :what are the new ways for 3D chemical characterization?

Tanguy TERLIER; Minjung KIM; Jihye LEE; Yeonhee LEE

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저자정보: Tanguy TERLIER (Korea Institute of Science and Technology) Minjung KIM (Korea Institute of Science and Technology) Jihye LEE (Korea Institute of Science and Technology) Yeonhee LEE (Korea Institute of Science and Technology)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2016년 한국진공학회 IVC-20 (제51회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2016.8

수록면: 643 - 643 (1page)

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