The Study on Design of Fine Focusing Lens in an Atmospheric Scanning Electron Microscope

Kyu Song; Ji-Hui Han; Dong-Young Jang; Seung-Jae Kim

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저자정보: Kyu Song (Seoul National University of Science and Technology) Ji-Hui Han (Seoul National University of Science and Technology) Dong-Young Jang (Seoul National University of Science and Technology) Seung-Jae Kim (Seoul National University of Science and Technology)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 Proceedings of the International Conference of Manufacturing Technology Engineers (ICMTE) 2016

발행연도: 2016.10

수록면: 63 - 63 (1page)

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#Scanning Electron Microscope #Atmospheric Scanning Electron Microscope #Electro Filter Unit #Electron Scattering #Electron Focusing

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