원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성

성기웅

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 성기웅 (KISTI)

저널정보: 한국에너지학회 한국에너지학회 학술발표회 한국에너지학회 2016년도 추계학술발표회

발행연도: 2016.10

수록면: 109 - 109 (1page)

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