모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

태양전지 후면 식각 공정의 인공신경망 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술

김수민 ,  오현주

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2023 .11

비등방성 식각 방식을 활용한 실리콘 기반 투명 마이크로 모듈 제작

강동균 ,  편도원 ,  이해석 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2022 .04

선택적 습식식각을 이용한 나노복합구조물 제작 연구

정직한 ,  김정환 ,  조상훈 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

습식 및 건식 식각을 이용한 결정질 실리콘 웨이퍼의 2 step 텍스쳐링 공정 최적화

배은지 ,  박정은 ,  최원석 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2020 .10

반도체 식각 장비 개발의 경쟁력

김남헌

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

태양전지 후면 식각 공정의 화학 반응 동역학 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술

김수민

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2022 .04

HCl 용액을 이용한 α-Ga2O3 epitaxy 박막의 습식 식각

최병수 ,  엄지훈 ,  엄해지 외 5명

한국결정성장학회지

2022 .02

Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication

Heeyeop Chae ,  Yongjae Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구

임동민 ,  유준현 ,  이종화

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process

Seung Deok Kim ,  Maeum Han ,  Jae Yong Lee 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

원격 플라즈마에서 NF₃ 가스를 이용한 SiGe의 고선택적 등방성 건식 식각

박우창 ,  길홍성 ,  이지연 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

RIE(Reactive Ion Etching) 처리된 다결정 웨이퍼의 DRE(Damage Removal Etching) 처리에 따른 패시베이션 특성 분석

김무중 ,  박성은 ,  강민구 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

마스크 없이 습식식각으로 제작된 대면적/불규칙 마이크로패턴의 광 확산 적용

신태환 ,  한의돈 ,  박용민 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2016 .11

습식식각을 이용한 나노박막 패터닝 기술

이민영 ,  이승훈 ,  김관오 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

유리기판 표면 Etching을 통한 분광특성연구

김해마로 ,  이돈규

전기전자학회논문지

2019 .06

펄스 플라즈마를 이용한 식각

양경채 ,  김수강 ,  신예지 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Large-area {110} micromirror based on anisotropic wet etch

Dae-Gon Kim ,  Sunghyun Yoo ,  Chang-Hyeon Ji 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .11

화학반응동역학 이론을 이용한 태양전지 에미터 식각 공정의 식각 반응 속도 예측 기술 개발

이용환 ,  김수민

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2021 .11

The Study on the Change of Surface Characteristics by Plasma Dry Etching

명노선

전자공학회지

2020 .02