MEMS를 이용한 다공성 알루미나 에칭기술

박기용; 최진섭

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박기용 (인하대학교) 최진섭 (인하대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018년도 한국표면공학회 추계학술대회 논문집

발행연도: 2018.11

수록면: 73 - 73 (1page)

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