차압식 유량계를 실장을 위한 Single Capacitive Type Differential 압력 센서

신규식; 송상우; 이경일; 이대성; 정재필

추천

검색

자료유형: 학술저널

저자정보: 신규식 송상우 이경일 이대성 정재필

저널정보: 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제24권 제1호

발행연도: 2017.1

수록면: 51 - 56 (6page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

최근 계측기의 소형화, 전자화에 따라 차압식 유량계의 경우 기존에 기계가공을 통해 개발하던 센서부를 전자식 MEMS 차압센서로 대체하려는 많은 노력이 있으나, MEMS 차압센서의 경우 고압이 인가시 실리콘 다이아프램의 파괴 및 센서의 접합부의 파괴가 발생하는 문제점이 있다. 따라서 본 논문에서는 proof pressure 이상의 압력에서 센서의다이아프램이 파괴되지 않는 구조를 제안하였으며, 그에 따른 차압식 압력센서를 설계 및 제작하였다. 센서 동작압력(0- 3 bar)의 3배 이상의 압력에서 센서의 동작특성을 평가하였다. 개발된 센서는 3.0×3.0 mm이며, 0~3 bar 사이의 압력에서LCR meter (HP 4284a)로 측정한 결과 3.67 pF at 0bar, 5.13 pF at 3 bar를 나타내었으며, 센서의 동작압력(0-3 bar)에서0.37%의 hysteresis를 나타내는 압력센서를 개발하였다.

#MEMS #sensor #differential pressure #packaging

참고문헌 (9)

참고문헌 신청

E. S. Hwang / 2002 / Flexible Module Packaging using MEMS technology / Proc. International Microelectronics and Packaging Society Conference 74

L. Chen / 2008 / A silicon carbide capacitive pressure sensor for in-cylinder pressure measurement / Sensors and Actuators A: Physical 2-8 : 145 ~

M. H. Lee / 2000 / Detailed characterization of anodic bonding process between glass and thin-film coated silicon substrates / Sensors and Actuators 86 (1) : 103 ~

M. Shanmugavalli / 2009 / Uncertainty analysis of micro differential pressure sensor using interval analysis / International Jour-nal on Smart Sensing and Inteligent Systems

P. Eswaran / 2012 / Design Analysis of MEMS Capacitive Differential pressure sensor for Aircraft Altimeter / International Journal of Applied Physics and Mathematics 2 (1) :

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!