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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제4권 제3호
발행연도
1995.9
수록면
253 - 260 (8page)

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유전장벽 방전(또는 silent 방전)은 조절된 마이크로아크방전 형태로서 비교적 높은 압력(0.1~수 기압)에서도 방전이 안정하므로 엑시머 생성에 의한 진공자외선 및 자외선 광원으로 적합하다. 본 연구에서는 평면형 및 원통형 유전장벽 방전장치를 제작하였고 Ar, Kr, Xe와 3% F₂/He의 혼합기체를 이용하여 ArF^*(193 ㎚), KrF^*(248 ㎚), XeF^*(351 ㎚) 엑시머자외선 생성실험을 수행하였다. 또한 부하전력, 기체압력, 기체조성 등의 방전조건에 대한 KrF^*(248 ㎚) 발광세기의 의존성을 조사하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 장치 및 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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