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이다솔 (부산대학교) 이현섭 (동명대학교) 정경우 (부산대학교) 최진욱 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 2019년도 한국윤활학회 제68회 추계학술대회
발행연도
2019.10
수록면
58 - 59 (2page)

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#Ceria slurry #Chemical mechanical planarization #Injection #Slurry distribution #Slurry thickness

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