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자료유형
학술저널
저자정보
Yeonwon Kim (Mokpo National Maritime University)
저널정보
한국마린엔지니어링학회 Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 한국마린엔지니어링학회지 제44권 제3호
발행연도
2020.6
수록면
218 - 222 (5page)
DOI
10.5916/jamet.2020.44.3.218

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We investigated the correlation of the slope of the Si* intensity versus the SiH* intensity with the Si cluster volume fraction. The light emitted from the plasma was analyzed using optical emission spectroscopy. The deposition rates with cluster and those of without clusters were measured using quartz crystal microbalances installed in the plasma reactor. The silicon cluster volume fraction was derived by comparing the resulting deposition rates with cluster and without clusters. The results showed that the slope of the Si* intensity versus SiH* intensity varied depending on the reaction conditions and was roughly correlated with the silicon cluster volume fraction. Therefore, this simple spectroscopic comparison could be used as an indicator of cluster incorporation into thin films.
#Plasma #Clusters #Thin film #QCM #OES

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental method
3. Results and discussion
4. Conclusion
References

참고문헌 (22)

참고문헌 신청
X. P. Yan / 2010 / Progress review of new energy application in ship / Ship & Ocean Engineering 39(6):111~115 google schola 안영수 / 2017 / In situ measurement of shortwave radiation by ship for harvesting sea solar energy / 한국마린엔지니어링학회지 41(8):714~722 Crossref 이강기 / 2014 / A study on market predictions of eco ship’s engine and machinery / 한국마린엔지니어링학회지 38(10):1354~1359 Crossref J. S. Park / 2004 / A study on the oper-ation method of photovoltaic/diesel hybrid generating sys-tem / Journal of the Korean Society of Marine Engineering 28(2):309~314 google schola A. Shah / 1999 / Photovoltaic technology : the case for thin-film solar cells / Science 285(5428):692~698 google schola

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