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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제33권 제3호
발행연도
2020.1
수록면
173 - 176 (4page)

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필러의 사이 간격(두께)을 1.4 ~ 2.3㎛까지 간격을 조금식 증가시키면서 실험을 진행하였으며, 1.9 um 미만은 문턱전압 전류량이 A를 나타내면서 턴-오프 상태를 유지하였다. 이후 필러 사이 간격(두께)이 2.0 um 이상으로 넓어질수록 필러에 걸리는 전계가 완화되며 항복전압이 소폭 증가하고 있다는 것을 알수 있으며, 온-상태 전압 강하의 특성이 좋아지는 것을 확인하였다. 필러간 거리가 증가함에 따라 필러에 중첩되는 농도가 낮아지기 때문에 N-애피택시 층과의 공핍층이 완화되는 현상을 볼 수 있으며 이에 따라 전류 포텐셜과 같이 애피택시 층과 필러 간의 채널 병목현상이 줄어들어 캐리어가 이동하는 것을 확인할 수 있다. 필러의 사이 간격이 작아질수록 애피택셜 공정의 비용절감 등에 이득을 볼 수 있지만 전기적 특성 및 효율이 나빠지는 트레이드-오프 관계를 확인할 수 있었다.

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참고문헌 (11)

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안병섭 / 2012 / 고내압 IGBT의 전기적 특성 향상에 관한 연구 / 전기전자재료학회논문지 25(3):187~192 dbpia M. C. Shin / 2019 / J. Nanosci. Nanotechnol 19:1670 Crossref 강이구 / 2017 / 설계 및 공정 파라미터에 따른 3.3 kV급 Super Junction FS-IGBT에 관한 연구 / 전기전자재료학회논문지 30(4):210~213 dbpia 정헌석 / 2015 / 대용량 전력변환용 초접합 IGBT 개발에 관한 연구 / 전기전자재료학회논문지 28(8):496~500 dbpia 금종민 / 2012 / 1,200 V급 Trench Gate Field Stop IGBT 소자의 전기적 특성 향상 방안에 관한 연구 / 전기전자재료학회논문지 25(4):253~260 dbpia

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