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자료유형
학술저널
저자정보
이남석 (연세대학교 기계공학부) 최용 (연세대학교 기계공학부) 강신일 (연세대학교 기계공학부)
저널정보
정보저장시스템학회 정보저장시스템학회논문집 정보저장시스템학회논문집 제1권 제2호
발행연도
2005.1
수록면
192 - 196 (5page)

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In this paper, we investigated the possibility of replicating patterned media by nano-injection molding process with a metallic nano-stamper. The original nano-master was fabricated by E-beam lithography and ICP etching process. The metallic nano-stamper was fabricated using a nanoimprint lithography and nano-electroforming process. The nano-patterned substrate was replicated using a nano-injection molding process without additional etching process. In nano-injection molding process, since the solidified layer, generated during the polymer filling, deteriorates transcribability of nano patterns by preventing the polymer melt from filling the nano cavities, an injection-mold system was constructed to actively control the stamper surface temperature using MEMS heater and sensors. The replicated polymeric patterns using nano-injection molding process were as small as 50 nm in diameter, 150 nm in pitch, and 50 nm in depth. The replicated polymeric patterns can be applied to high density patterned media.
#Patterned media #nano-injection molding #injection-mold system #metallic nano-stamper #polymeric nano-pattern

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