사파이어 랩그라인딩 시 자유입자의 사용이 화학기계적 연마 결과에 미치는 영향

서준영; 김태경; 손준규; 이현섭

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 서준영 (동명대학교) 김태경 (동명대학교) 손준규 (동명대학교) 이현섭 (동명대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2019년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2019.10

수록면: 142 - 142 (1page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (12)

2020

사파이어 웨이퍼링 공정에서 랩그라인딩 조건이 CMP결과에 미치는 영향

서준영 기계시스템공학과 2020.01 학위논문

2019

랩그라인딩 후 사파이어 웨이퍼의 표면거칠기가 화학기계적 연마에 미치는 영향

서준영 , 이현섭 Tribology and Lubricants 2019.12 학술저널

사파이어 랩그라인딩 시 자유입자의 사용이 화학기계적 연마 결과에 미치는 영향

서준영 , 김태경 , 손준규 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.10 학술대회자료

사파이어 웨이퍼링 공정에서 랩그라인딩과 화학기계적 연마 연계 공정에 관한 연구

서준영 , 김태경 , 손준규 외 1명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2019.10 학술대회자료

랩그라인딩 압력에 따른 CMP 공정 결과에 대한 연구

서준영 , 김태경 , 손준규 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.05 학술대회자료

사파이어 랩그라인딩 후 CMP공정에 관한 연구 : 랩그라인딩 연마액 희석비의 영향

서준영 , 김태경 , 손준규 외 1명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2019.04 학술대회자료

2018

실리카 슬러리 희석비가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향

서준영 , 김태경 , 손준규 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.10 학술대회자료

압력 변화가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향

서준영 , 김태경 , 손준규 외 1명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2018.10 학술대회자료

회전속도가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향

서준영 , 김태경 , 손준규 외 1명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2018.10 학술대회자료

사파이어 기판의 랩 그라인딩 공정에서 실리카 입자크기에 따른 표면거칠기 안정화에 관한 연구

서준영 , 김태경 , 이현섭 대한기계학회 춘추학술대회 2018.05 학술대회자료

DLG 공정에서 실리카 입자크기에 따른 사파이어 기판의 연마에 미치는 영향에 관한 연구

서준영 , 김태경 , 이현섭 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.05 학술대회자료

사파이어 웨이퍼의 양면랩그라인딩 공정에서 실리카 입자의 영향에 관한 연구

서준영 , 김태경 , 이현섭 한국트라이볼로지학회 학술대회 2018.04 학술대회자료

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서준영

소속기관 한국공학대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 34 이용수 792

김태경

소속기관 국립중앙도서관

주요연구분야 사회과학 > 문헌정보학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 60 이용수 2,192

손준규

소속기관 이에이트

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 27 이용수 663

이현섭

소속기관 동아대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 1%

논문수 139 이용수 7,421

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구조물의 비접촉 비파괴 검사를 위한 레이저 초음파법 적용

김재열 , 송경석 , 양동조 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005 .05

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