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저자정보
안흘비 (과학기술연합대학원대학교) 박정재 (한국표준과학연구원) 진종한 (한국표준과학연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2018년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2018.10
수록면
38 - 38 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2018

반도체 소자의 미세 형상 측정을 위한 분광 간섭계
안흘비 ,  박정재 ,  진종한 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.10 학술대회자료

2017

광섬유기반 분광 간섭계를 이용한 미세 패턴의 3차원 형상 측정
안흘비 ,  박정재 ,  진종한 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2017.05 학술대회자료

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#Spectral-domain interferometer #Micropatterns measurement

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