기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비

정헌준 ,  박종선 ,  임진혁 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition

홍성환 ,  장은용 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구

최원준 ,  홍경표 ,  최예린 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition

Yong Tae Kim ,  Jaeyeong Heo

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

분말 입자 코팅을 위한 초음파 원자층 증착

서범근 ,  정헌준 ,  김남일 외 1명

한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회

2022 .11

나노 파우더 원자층 증착을 위한 모듈 개발 및 평가

조성은 ,  양병찬 ,  김태영 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .12

공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발

이재욱 ,  김현범 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

Atomic Layer Deposition on Nano-particles using External Vibration

S.W. Pa ,  k ,  G. D. Han 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

전산유체역학을 이용한 Atomic Layer Deposition 장비의 내부 유동 예측

유성식 ,  조태희 ,  김태순 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

원자층 증착법을 이용한 리튬티타늄산화물의 고온 전기화학 특성 향상기구 규명

남승훈 ,  박형상 ,  현승민

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

The Properties of ZrO₂ Film Deposition by ALD at Low Temperature

양병찬 ,  신정우 ,  권혁동 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .10

소수성 코팅을 위한 원자층 증착 희토류 금속산화물

이한보람

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11