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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
613 - 613 (1page)

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움직이는 물체의 거리 및 형상 측정을 위한 레이저 추적 시스템 및 정밀 레이저 가공과 같이 광경로의 변화가 필요한 광학 시스템에는 정밀 빔 주사 장치가 필요하다. 빔 주사 구현 방식으로 회절광학소자와 회전 거울 기반의 레이저 스캐너가 있다. 회절광학소자는 입사되는 빔을 특정 각도로 분기시켜 여러 대상으로 빔을 분기 및 주사할 수 있지만, 소자 내의 격자 패턴이 고정되어 있어 빔의 분할 각도를 조절할 수 없다. 회전 거울 기반의 레이저 스캐너는 거울의 회전 및 반사를 이용하여 빔을 주사하는 장치로서, 기계적 구동에 의해 넓은 주사 범위를 갖고 있지만 레이저의 반사 위치와 거울의 회전 중심이 일치하지 않아 빔 포인팅 에러가 발생되며 거울의 회전 관성에 의해 정확한 각도로^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10582188');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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