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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.2
- 수록면
- 746 - 750 (5page)
- DOI
- 10.5762/KAIS.2022.23.2.746
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스마트폰, 고해상도 디스플레이 등에는 정밀한 박막 필름들이 많이 사용되고 있다. 이러한 박막 필름은 일반적으로 롤투롤(Roll-To-Roll) 공정에서 생산되고 있는데, 생산 중에 엄격한 두께 관리가 필요하고, 이를 위해서 OCT(Optical Coherence Tomography) 두께 측정기가 실시간 정밀 두께 측정에 사용되고 있다. 필름에 빛을 투과하여 두께를 측정하는 OCT 방식에서는, 필름이 기울어지면 광 경로에 변화가 발생하고, 이는 측정되는 두께 값을 왜곡시키게 된다. 본 연구에서는, OCT 두께 측정기를 이용하여 플라스틱 박막 필름의 두께를 실시간으로 측정하는 것과 동시에 필름의 기울기를 측정하여 기울기 변화로 인한 두께 값의 왜곡을 보정하는 실험을 진행하였다. 실험에서는 두께 142㎛의 유리 박막의 기울기를 –6도에서 +6도까지 변화시키면서 왜곡된 두께 측정값을 얻고, 동시에 필름의 기울기를 측정하여 두께의 왜곡을 보정하였다. 이후, 기울기 변화를 주며 측정한 두께 값과 0도를 기준으로 측정된 두께 값의 차이를 보정 전후로 비교하여 두께 값이 보정되는지 확인하였다. 기울기가 보정되기 전에는 두께 값에서 0.34 ㎛의 변동이 있었지만, 보정이 이루어지면서 두께 값의 변동 폭이 0.06 ㎛으로 감소 되는 것이 확인되었다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. OCT 두께 측정 장치
3. 기울기에 따른 두께 보정 실험
4. 결론
References
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
Kooy, N., Mohamed, K., Pin, L. T., Guan, O. S., “A Review of Roll-to-roll Nanoimprint Lithography”, Nanoscale Research Letters, Vol.9, No.1, pp.320-332, 2014. DOI: https://doi.org/10.1186/1556-276X-9-320
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K.N. Joo, “Large Area Film Thickness Measurements by Spectroscopic Imaging Ellipsometry”, Korean Society for Precision Engineering 2019 Spring Conference Proceedings, Korean Society for Precision Engineering, Korea, pp.805, 2019.
Sung-Soo Kim, Do-Yun Kim, “Development and Characteristics of the x-ray transmission anode tube for the thickness measurement of film”, Applied Science and Convergence Technology, Vol.17, No.3, pp.240-246, May 2008. DOI: https://doi.org/10.5757/JKVS.2008.17.3.240
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K.N. Joo, “Large Area Film Thickness Measurements by Spectroscopic Imaging Ellipsometry”, Korean Society for Precision Engineering 2019 Spring Conference Proceedings, Korean Society for Precision Engineering, Korea, pp.805, 2019.
Sung-Soo Kim, Do-Yun Kim, “Development and Characteristics of the x-ray transmission anode tube for the thickness measurement of film”, Applied Science and Convergence Technology, Vol.17, No.3, pp.240-246, May 2008. DOI: https://doi.org/10.5757/JKVS.2008.17.3.240
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