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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김원석 (부산대학교) 김송길 (부산대학교) 장영준 (한국재료연구원) 김종국 (한국재료연구원)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants Tribology and Lubricants 제38권 제3호
발행연도
2022.6
수록면
101 - 108 (8page)

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2022

자장여과아크소스의 자장필터 꺾임 각도와 아크방전전류에 따라 증착된 ta-C 코팅의 마모 거동 연구
김원석 ,  김송길 ,  장영준 외 1명 Tribology and Lubricants 2022.06 학술저널

2021

자장여과아크소스원의 자장필터 꺽임 각도와 아크방전전류에 따라 증착된 ta-C 코팅막의 마모거동 연구
김원석 ,  장지웅 ,  장영준 외 1명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2021.10 학술대회자료

초록· 키워드

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The structure and properties of tetrahedral amorphous carbon (ta-C) coatings depend on the main process parameters and bending angles of the magnetic field filter used in the filtered cathodic vacuum arc (FCVA). During the process, it is possible to effectively control the plasma flux of carbon ions incident on the substrate by controlling the arc discharge current, thereby influencing the mechanical properties of the coating film. Furthermore, we can control the size and amount of large particles mixed during carbon film formation while conforming with the bending angle of the mechanical filter mounted on the FCVA; therefore, it also influences the mechanical properties. In this study, we consider tribological characteristics for filtered bending angles of 45° and 90° as a function of arc discharge currents of 60 and 100 A, respectively. Experiment results indicate that the frictional behavior of the ta-C coating film is independent of the bending angle of the filter. However, its sliding wear behavior significantly changes according to the bending angle of the FCVA filter, unlike the effect of the discharge current. Further, upon changing the bending angle from 45° to 90°, abrasive wear gets accelerated, thereby changing the size and mixing amount of macro particles inside the coating film.
#Filtered cathodic vacuum arc(자장여과아크플라즈마) #Arc discharge current(아크방전전류) #Hardness(경도) #Surface roughness(표면거칠기) #Wear(마모) #Macro particle(거대입자)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구방법 및 내용
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

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