ALD로 저온에서 증착된 TiO2 박막의 막질에 대한 연구

박원희 ,  신정우 ,  양병찬 외 3명

마이크로전자 및 패키징학회지

2016 .01

멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발

김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

저온 증착 된 ZrO₂ ALD 박막의 특성

양병찬 ,  안지환 ,  신정우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

Low-resistivity Molybdenum Nitride Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition

하민지 ,  최정훈 ,  안지훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .11

R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

Thermal ALD 방법으로 증착된 MoN/Mo 박막의 증착 온도 영향성 연구

이백주 ,  천민호 ,  이규범 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

유한요소 해석을 이용한 박막 고속 증착용 ALD장비 최적설계

홍경표 ,  정명희 ,  류태영 외 6명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .04

표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향

고은총 ,  안지상 ,  한정환

한국표면공학회지

2022 .12

원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상

박용섭 ,  김남훈

전기전자재료학회논문지

2016 .01

ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

박막공정 최적화를 위한 ALD Chamber 내부 열유동 해석

이승헌 ,  송동근 ,  김정수 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications

이우재 ,  Susata Be ,  aa 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .06

ALD로 증착한 SnO₂ 박막의 특성 분석 및 페로브스카이트 태양전지에 적용

박종호 ,  김다연 ,  박성준 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2023 .11

Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films

S. Lee ,  J. Koo ,  J. Kim 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향

신예원 ,  한유리 ,  이우재

한국표면공학회지

2025 .02

CVD/ALD 장비를 이용한 a-Si 및 SiOx 박막의 특성

주재홍 ,  강상준 ,  찬타솜바스 시사바이 외 2명

한국정보기술학회논문지

2016 .11

High-k Thin Films by Atomic Layer Deposition for Energy and Information Storage

안지환

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2018 .12

ALD 증착용 노즐에서의 유량분배 특성 연구

조정민 ,  성재용 ,  이명호

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2019 .12

초고주파(VHF) 플라즈마 강화 원자층 증착(PE ALD)과 기판 바이어싱으로 저온에서 증착된 SiO₂ 박막 특성 개선

이용기 ,  김호곤 ,  안규환 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

차세대 인터커넥션 적용을 위한 ALD Ru 금속 박막의 비저항 변화 연구

조인호 ,  이승훈 ,  황해인 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .07