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논문 기본 정보

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저자정보
이정수 (한국산업기술대학교) 조예지 (한국산업기술대학교) 이현화 (한국산업기술대학교) 공미선 (한국산업기술대학교) 강동화 (한국산업기술대학교) 정미숙 (한국산업기술대학교)
저널정보
한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제30권 제4호
발행연도
2019.8
수록면
146 - 153 (8page)

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노광기는 회로 패턴을 원하는 위치에 전사시켜주는 장비로 패턴을 광학적 특성의 변형 없이 기재 상에 나타내기 위해서는 노광광학계의 특성이 매우 중요하다. 따라서 미세회로 패턴을 형성하기 위해서는 조사 면적에 작은 발산각으로 입사되어야 한다. 또한, 광원에서 나온 빛이 감광제와 균일하게 반응해야 하기 때문에 높은 광효율과 조도 균일도를 가져야 한다. 본 논문에서는 협각 구현의 문제점을 해결하기 위한 방법으로 반사형 타입인 파라볼라 반사경과 비구면 렌즈 설계를 진행하였고, 배열 후 시뮬레이션 분석 결과 광속 각도, 균일도, 최대조도가 목표 성능을 만족하는 것을 확인하였다.
#Lithography #Reflector #Light efficiency #Illumination uniformity #노광 #반사경 #광효율 #조도 균일도

목차

I. 서론
II. 본론
III. 결론
References

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
G. S. May / Fundamentals of semiconductor fabrication / John Wiley & Sons google schola M. H. Kim / 2015 / Design and analysis of compact exposure using UV LED :4 google schola S. S. Bae / 2004 / Design of projection optics system for FPD exposure / Proc. KSPE Annual Meeting :2 google schola H. W. Jo / 2017 / The research of the optical focusing method using UVA LED array :4 google schola 서진희 / 2017 / LED 광원 사용 시 line beam 형성을 위한 자유 곡면 bar type의 TIR lens 설계 / 한국광학회지 28(6):295~303 dbpia

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