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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
윤경택 (아주대학교) 배정현 (아주대학교) 최영만 (아주대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.40 No.2
발행연도
2023.2
수록면
105 - 111 (7page)
DOI
10.7736/JKSPE.022.117

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Slot-die coating is a method of coating a wide layer of thin film on a substrate. It has the advantages of large-area coating with high reproducibility and uniform thickness. For this reason, it has been widely applied in various industrial manufacturing fields. To secure higher coating uniformity under various coating conditions, estimating and controlling the flow rate of the coating solution discharged to the substrate is crucial. In this study, a practical gravimetric flow rate measurement method for slot-die coating uniformity evaluation has been introduced. The gravimetric method is a technique for accurately and quickly estimating the flow rate through the mass change over time using a precision weighing balance. We analyzed the measurement principle and errors caused by fluid mechanics such as hydrodynamic force or capillary force. The dynamic properties based on fluid viscosity were also evaluated for flow rates from 5 to 50 μL/s. The repeatability of the fabricated measurement system was ~1.5 μL/s. Finally, it was confirmed that the settling time for high-viscosity fluid could be advanced by 56.4% through multi-step feedforward control.

목차

1. 서론
2. Gravimetric Flow Meter
3. 유체 및 펌프 특성 평가 및 유량 제어
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (17)

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