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학술저널
저자정보
김인주 (서울과학기술대학교) 김용화 (서울과학기술대학교) 조영학 (서울과학기술대학교) 김성동 (서울과학기술대학교)
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제29권 제2호
발행연도
2022.6
수록면
121 - 127 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2022

진공을 이용한 마이크로 LED 전사 디바이스 개발
김인주 ,  김성동 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2022.07 학술대회자료
진공 척을 이용한 마이크로 LED 대량 전사 공정 개발
김인주 ,  김용화 ,  조영학 외 1명 마이크로전자 및 패키징학회지 2022.06 학술저널

초록· 키워드

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마이크로 LED는 크기가 100 μm 이하인 LED 소자로 기존 LED에 비해 해상도, 밝기 등 여러 면에서 우수한성능을 보일 뿐 아니라 유연 디스플레이, VR/AR 등 다양한 분야에 적용이 가능하다. 마이크로 LED 디스플레이를 제작하기 위해선 LED 웨이퍼로부터 최종기판으로 마이크로 LED를 옮기는 전사 공정이 필수적이며, 본 연구에서는 진공 척을 이용하여 마이크로 LED를 고속 대량 전사하는 방식을 제안하고 이를 검증하였다. MEMS 기술을 이용한 PDMS 마이크로 몰딩 공정을 통해 진공 척을 제작하였으며, PDMS 몰딩 공정을 제어하기 위해 댐 구조를 이용한 스핀 코팅 공정을 성공적으로 적용하였다. 솔더볼을 이용한 진공 척 구동 실험을 통해 진공 척을 이용한 마이크로 LED의 대량 전사 가능성을 확인하였다.
#micro-LED #vacuum chuck #microchannel #mass transfer #PDMS

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