Glass 위에 증착된 SnO2/Ag/Nb2O5/SiO2/SnO2 다층 투명전도막의 성능지수

김진균; 이상돈; 장건익

doi:http://dx.doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.2.81

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저자정보: 김진균 (충북대학교 재료공학과) 이상돈 (강릉원주대학교) 장건익 (충북대학교)

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제30권 제2호

발행연도: 2017.2

수록면: 81 - 85 (5page)

DOI: http://dx.doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.2.81

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2017

Glass 위에 증착된 SnO2/Ag/Nb2O5/SiO2/SnO2 다층 투명전도막의 성능지수

김진균 , 이상돈 , 장건익 전기전자재료학회논문지 2017.02 학술저널

2016

Effect of SnO2 thickness variation on property of SnO2/Ag/Nb2O5/SiO2/SnO2 multi layer film

김진균 , 유상무 , 장건익 Journal of Ceramic Processing Research 2016.11 학술저널

Optical and electrical properties of SnO2/Ag/SnO2/SiO2/ Nb2O5 hybrid film

김진균 , 윤상무 , 장건익 Journal of Ceramic Processing Research 2016.02 학술저널

Variation of reflectivity and colour in SnO2/Ag/SnO2 structure with Nb2O5 and SiO2 index matching layer

김진균 , 장건익 Journal of Ceramic Processing Research 2016.02 학술저널

Nb2O5 와 SiO2 Index Matching Layer가 포함된 SnO2/Ag/SnO2 다층막의 시인성 개선

김진균 재료공학과 2016.01 학위논문

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SnO2/Ag/Nb2O5/SiO2/SnO2 다층막을 유리기판위에 RF/DC 마그네트론 스퍼터링을 사용하여 상온에서 제작하였다. 상부 SnO2층의 두께에 따른 다층막의 광학적, 전기적 특성을 조사해보았다. 실험을 통해서 측정된 투과율은 550 nm 파장 기준으로 상부 SnO2층이 40 nm에서 55 nm까지 증가할 때 84.3 ~ 85.8%로 나타났다. 면 저항은 5.81 Ω/sq 에서 6.94 Ω/sq 로 약간 증가하였다. 상부 SnO2층의 두께변화에 따라 계산된 헤커스의 성능지수(FOM)는 45 nm일 때 가장 높았다. (35.3 × 10-3 Ω-1)

#TMT structure #Transmittance #Sheet resistance #Figure of merit

참고문헌 (14)

참고문헌 신청

Yude Wang / 2009 / Ordered Mesoporous Sb-, Nb-, and Ta-Doped SnO 2 Thin Films with Adjustable Doping Levels and High Electrical Conductivity / ACS Nano 3(6):1373~1378

F. Rohlfing / 2006 / Mater 18:2980

F. Javier Yusta / 1997 / CVD preparation and characterization of tin dioxide films for electrochemical applications / Journal of Materials Chemistry 7(8):1421~1427

T. P. Chow / 1982 / Antimony-Doped Tin Oxide Films Deposited by the Oxidation of Tetramethyltin and Trimethylantimony / Journal of The Electrochemical Society 129(5):1040

Jin-Gyun Kim / 2016 / Optical and electrical properties of SnO2/Ag/SnO2/SiO2/ Nb2O5 hybrid film / Journal of Ceramic Processing Research 17(2):80~84

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