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이상직 (한국생산기술연구원) 김노원 (한국생산기술연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2023년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2023.11
수록면
128 - 128 (1page)

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#Large area square substrate #Grinding #Process conditions #Grinding characteristics

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