반도체 산업의 탄소중립, 플라즈마 기술이 답하다

강우석

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

반도체 에칭 공정용 플라즈마 가스 제어 장치 구조 해석 Ⅱ

박상현 ,  이원석 ,  조준현 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

반도체 Plasma 공정 소재의 분석용 TDS 개발

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

Research Trend and Future Perspective of Plasma-Assisted Health Care Technology

Hae June Lee ,  Kiwon Song

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2015 .10

상부 유도 결합 플라즈마에서 챔버 길이에 따른 전기적 특성 및 플라즈마 분포

홍영훈 ,  장이랑 ,  김주호

전기학회논문지

2022 .08

임피던스 변화를 이용한 선형 대기압 DBD 플라즈마 밀도 측정

신기원 ,  이환희 ,  권희태 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

Lag-time based simulation for semiconductor equipment investment

김세훈 ,  박승환 ,  백준걸

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2016 .04

고온 플라즈마를 이용한 반도체 공정 발생 폐가스 처리시스템 개발

황상연 ,  엄성현 ,  차우병

한국에너지기후변화학회 학술대회

2018 .11

플라즈마 교반 핸들링 시스템의 구동 시뮬레이션 분석

최현진 ,  박기진 ,  권상원

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

DESIGN OF ANODE ELECTRODE IN PLASMA TORCH FOR SEMICONDUCTOR WASTE GAS TREATMENT

Eun Ju KIM ,  Young Bae KIM ,  Jong Hyuk YOON 외 3명

AFORE

2017 .11

Charge Transport of Organic Transistors Based on Semiconductor/Semiconductor Polymer Blends

고춘연 ,  양회창 ,  김윤희 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .04

Plasma actuation 을 위한 저 전압 plasma-on-a-chip.

박현호 ,  홍창훈 ,  김영민

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

Power Semiconductor Device: Past, Present and the Future

Ichi ,  o Omu ,  a

ICPE(ISPE)논문집

2015 .06

Optimizing Deposition Chamber Systems in the Semiconductor Industry Using Deep Learning: Addressing Challenges with Limited Simulation Data

Donggeun Pa ,  k ,  Jin Eon Byun 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

A Study on the design of separation force measuring system for improvement of semiconductor productivity

Kun-Jong Pa ,  k

한국컴퓨터정보학회논문지

2017 .10

Damage-Free Treatment of ITO Films using Nitrogen-Oxygen (N₂-O₂) Molecular DC Plasma

Hong Tak Kim ,  Thao Phoung Ngoc Nguyen ,  Chinho Pa 외 1명

Current Photovoltaic Research

2015 .12

Plasma-derived Mitochondrial Transplantation as an Alternative to Platelet-rich Plasma Therapy

Seong Hun KIM ,  Ik-Hyun LIM ,  Mi Jin KIM 외 3명

한국생물공학회 학술대회

2023 .04

전송선로를 이용한 플라즈마 전력 전달 연구

박인용 ,  이장재 ,  김시준 외 4명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

실시간 플라즈마공정 모니터링을 위한 Self Plasma-Optical Emission Spectroscopy 성능 향상

조경재 ,  홍상진

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

In-Situ Detection Method of Abnormal Plasma Discharge in Plasma-Assisted Deposition Processes

Muhammad Zeeshan A ,  shad ,  홍상진

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2018 .04