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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.4
- 수록면
- 350 - 357 (8page)
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A new valveless micropump for bi-directional application has been developed and tested. The micropump was fabricated on silicon and glass substrates by micromachining process. The micropump in this study consists of a membrane actuator, a pumping chamber, fluidic channels and two piezoelectric ceramic films. The channels and pumping chamber were etched on a glass wafer and the membrane was made on a silion wafer which is actuated by a piezoelectric ceramic (PZT) film. The geometry of the micropump was optimized by numerical analysis and the performance of the micropump was investigated by the experiments. The maximum flow rate was 323 μL/min and the maximum back pressure was 294 Pa when the membrane actuator of 10 × 10 ㎟ was driven at 130 ㎐ and 385 V.
목차
Abstract
1. 서론
2. 작동원리 및 수치해석
3. 실험장치 및 방법
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (11)
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Woias, P., 2005, "Micropumps - Past, Progress and Future Prospects," Sensors and Actuators B, Vol. 105, pp. 28~38.
Koch, M., Harris, N., Evans, A., White, N. and Brunnschweiler, A., 1998, "A Novel Micromachined Pump Based on Thick-film Piezoelectric Actuation," Sensors and Actuators A, Vol. 70, pp. 98~103.
Richter, M., Linnemann, R. and Woias, P., 1998, "Robust Design of Gas and Liquid Micropumps," Sensors and Actuators A, Vol. 68, pp. 480~486.
Li, S. and Chen, S., 2003, "Analytical Analysis of a Circular PZT Actuator for Valveless Micropumps," Sensors and Actuators A, Vol. 104, pp. 151~161.
Pan, L. S., Ng, T. Y., Wu, X. H. and Lee, H. P., 2003, “Analysis of Valveless Micropumps with Inertial Effects,” Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 13, pp. 390~399.
Koch, M., Harris, N., Evans, A., White, N. and Brunnschweiler, A., 1998, "A Novel Micromachined Pump Based on Thick-film Piezoelectric Actuation," Sensors and Actuators A, Vol. 70, pp. 98~103.
Richter, M., Linnemann, R. and Woias, P., 1998, "Robust Design of Gas and Liquid Micropumps," Sensors and Actuators A, Vol. 68, pp. 480~486.
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