시뮬레이션을 통한 무밸브 마이크로 펌프의 전기-유체-구조 상호작용에 대한 연구

리광철; 구남서; 한철희

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자료유형: 학술저널

저자정보: 리광철 구남서 한철희

저널정보: 한국항공우주학회 한국항공우주학회지 韓國航空宇宙學會誌第36卷第1號

발행연도: 2008.1

수록면: 7 - 13 (7page)

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본 논문에서는 유한요소법을 기반으로 한 소프트웨어 COMSOL Multiphysics를 이용하여 압전 복합재료 작동기를 이용하여 제작한 무밸브 마이크로펌프의 성능을 연구하였다. 압전 마이크로펌프는 4층의 경량 압전 복합재료 작동기, PDMS으로 된 챔버와 2개의 디퓨저로 이루어졌다. 시뮬레이션에서는 압전 재료 영역, 구조 영역과 유체 영역을 완전 연성하여 해를 계산하였다. 물을 유체로 사용하였으며, 유량을 마이크로펌프의 구조적 파라미터에 대하여 계산하였다. 이 연구에 기초하여 보다 성능이 좋은 마이크로펌프를 제시하였다.

#Micropump(마이크로 펌프) #Piezo-composite actuator(압전 복합재료 작동기) #Micro-electo-mechanical system(MEMS) #Electro-Fluid-Structural Interaction(전기-유체-구조 상호작용)

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1. [학술지(정기간행물)] - P.Woias / 2005 / Micropumps-past,progress and future prospects / Sensors and Actuators B (105) : 28 ~ 38

2. [학술지(정기간행물)] - N.T. Nguyen / 2002 / MEMS-Micropumps: A Review / ASME 124

3. [학술지(정기간행물)] - K.J. Yoon / 2002 / Design and Manufacturing of LIghtweight Piezo-composite Curved Actuator / Smart Materials and Structures 11 : 163 ~ 168

4. [학술대회논문] - K. Mossi / 2003 / Pre-stressed Curved Actutors: Characterization and Modeling of their Piezoelectric Behavior / Proceeding of SPIE's 10th Annual International Symposium on Smart Structures and Materials

5. [학술지(정기간행물)] - Thanh-Tung Nguyen / 2006 / A novel PDMS valveless micropump with a circular lightweight piezo-composite actuator / Key Engineering Materials 321-323 : 245 ~ 248

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