탄성빔 형상의 변화에 따른 초음파 이송시스템의 진동 특성에 관한 연구

Recently, the semiconductor industry as well as the optical industry such as the optical communication and the optical instrument is developed rapidly. Transport systems which are the important part of the factory automation have much influence on improving productivity. Object transport systems are driven typically by the magnetic field and the conveyer belt. In recent years, the industry requires faster and more efficient transport system. However, conventional transport systems are not adequate for transportation of optical elements and semiconductors. The reason is that conveyor belts can damage precision optical elements by the contact force and magnetic systems can destroy the inner structure of semiconductor by the magnetic field.
In this paper, the levitation transport system using ultrasonic wave is developed for transporting precision elements without damages. Vibration modes of each flexural beam are verified by using Laser Scanning Vibrometer.

#Ultrasonic Wave Generator(초음파발생장치) #Ultrasonic Levitation(초음파부상) #Optical Glass Lens(광학 유리 렌즈) #Laser Scanning Vibrometer(레이저 진동 측정기) #Vibration Mode Analysis(진동모드해석) #Vibration Characteristics(진동특성)

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