초음파 여기를 이용한 물체 이송시스템의 메커니즘 연구

In the semiconductor and the optical industry a new transport system which can replace the conventional sliding system is required. These systems are driven by magnetic field and conveyer belt. The magnetic field damages semiconductor and contact force scratches the optical lens. The ultrasonic wave driven system can solve these problem. In this paper, the relationship of transporting speed according to the change of flexural beam shape and the effect of transporting speed according to the change of weight and amplification voltage are verified. The vibration behavior of flexural beam in the ultrasonic transport system is experimented using Laser Scanning Vibrometer.

#Object transport system(물체이송장치) #Laser scanning vibrometer(레이저진동측정시험기) #Ultrasonic wave generator(초음파발생장치) #Excitation frequency(가진주파수) #Phase-difference(위상차) #Progressive frequency(진행주파수) #Flexural beam(탄성빔)

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