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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김강삼 (한국생산기술연구원) 조용기 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제43권 제3호
발행연도
2010.6
수록면
127 - 131 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

중간층을 이용한 DLC 박막의 밀착력에 관한 연구
김강삼 ,  조용기 한국표면공학회지 2010.06 학술저널
금속 중간층을 이용한 DLC 박막의 밀착력에 관한 연구
김강삼 ,  조용기 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2010.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Adhesion of DLC film is very significant property that exhibits wear resistance, chemical inertness and high hardness when being deposited to metal substrate. This study was considered that change adhesion of DLC film produced by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition can be presented through inserting interlayer (Cr, Si-C:H). The thickness of interlayer was result of changing adhesion and residual stress. It was showed that the maximum 12 N of adhesion is on DLC film of Cr interlayer, and that a tendency is to be increased residual stress depend on the thickness. DLC film of Si-C:H interlayer represented 16 N of adhesion at 1 μm, whereas adhesion is decreased when the thickness is increased. For the interlayer at multi-layer, it was the best that adhesion of Cr/Si-C:H/DLC film was 33 N. Si-C:H interlayer at DLC film controled adhesion of the whole film. It was relaxed the internal stress of DLC film produced by inserting Cr, Si-C:H interlayer.
#Diamond-like Carbon(a-C:H) #Cr #Si-C:H #Adhesion #Residual stress

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (20)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - A. Matthews / 1994 / / Diam. Relat. Mater. 3 : 902 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - H. Dimigen / 1984 / / Philips Tech. Rev. 41 (6) : 186 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - A. Grill / 1997 / / Surf. Coat. Technol. 94 : 507 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - K. Taube / 1994 / / Surf. Coat. Technol. 68 : 662 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - M. Morgan / 1971 / / Thin Solid Films 7 : 313 ~ google schola

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