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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제8권 제3호
발행연도
2007.1
수록면
125 - 130 (6page)

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DLC coating on ceramics is very useful for manufacturing the materials with hardness and low friction. Adhesion of DLC thin film on ceramics, on the other hand, is usually very weak. Adhesion of DLC film depends on many parameters such as contamination and chemical bonding between thin film and substrate. In this study, adhesion of DLC film on ceramics was improved by the intermediate layer when the plasma immersion ion deposition (PIID) technique was applied. It is found that the chemical composition and the thickness of intermediate layer have significantly an effect on the adhesion of DLC thin film on Al2O3.
#DLC thin film #Intermediate layer #PIID #Adhesion #Alumina

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/ 1988 / Raman spectra of diamondlike amorphous carbon films google schola / 1992 / Fracture strength and biaxial modulus measurement of plasma silicon nitride films google schola / 1997 / Pulsed laser deposition of diamond-like carbon wear protective coatings: a review 92 : 42 ~ google schola / 1997 / The breakdown mechanism of diamond-like carbon coated nickel in chloride solution 39 : 1605 ~ google schola / 1999 / Reduction of intrinsic stress in cubic boron nitride films 341 : 238 ~ google schola

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