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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박규진 (금오공과대학교) 이재종 (한국기계연구원) 곽호상 (금오공과대학교)
저널정보
한국전산유체공학회 한국전산유체공학회지 한국전산유체공학회지 제21권 제2호
발행연도
2016.6
수록면
90 - 98 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2016

나노임프린트 장비용 대면적 열판 열설계를 위한 수치 연구
박규진 ,  이재종 ,  곽호상 한국전산유체공학회지 2016.06 학술저널
나노임프린트 장비용 대면적 열판의 열설계에 관한 연구
박규진 기계공 2016.01 학위논문

초록· 키워드

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A numerical study is conducted on thermal performance of a large-area hot plate specially designed as a heating and cooling tool for thermal nanoimprint lithography process. The hot plate has a dimension of 240 mm × 240 mm × 20 mm, in which a series of cartridge heaters and cooling holes are installed. The material is stainless steel selected for enduring the high molding pressure. A numerical model based on the ANSYS Fluent is employed to predict the thermal behavior of the hot plate both in heating and cooling phases. The PID thermal control of the device is modeled by adding user defined functions. The results of numerical computation demonstrate that the use of cartridge heaters provides sufficient heat-up performance and the active liquid cooling in the cooling holes provides the required cool-down performance. However, a crucial technical issue is raised that the proposed design poses a large temperature non-uniformity in the steady heating phase and in the transient cooling phase. As a remedy, a new hot plate in which heat pipes are installed in the cooling holes is considered. The numerical results show that the installation of heat pipes could enhance the temperature uniformity both in the heating and cooling phases.
#열판(Hot Plate) #열설계(Thermal Design) #급속 가열과 냉각(Rapid Heating and Cooling) #온도균일도(Temperature Uniformity) #열확산계수(Thermal Diffusivity) #열경화 방식 나노임프린트(Thermal Nanoimprint Lithography) #히트파이프(Heat Pipes)

목차

1. 서론
2. 모델
3. 결과 및 토론
4. 결론
Reference

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
[단행본] - Gary, S.M. / 2003 / Fundamentals of Semiconductor Fabrication / John Wily & Sons google schola [학술지(정기간행물)] - Chou, S.Y. / 1996 / Nanoimprint Lithography / J. Vac. Sci. Technol 14 (6) : 4129 ~ 4133 google schola [학술지(정기간행물)] - Becker, H. / 2000 / Hot Embossing as a Method for the Fabrication of Polymer High Aspect Ratio Structures / Sensors and Actuators A, Physical 84 : 130 ~ 135 google schola [학술지(정기간행물)] - Pang, S.W. / 1998 / Direct Nano-Printing on Al Substrate Using a SiC Mold / J. Vac. Sci. Technol. 16 : 1145 ~ 1149 google schola [학술지(정기간행물)] - Hirai, Y. / 2001 / Study of the Resist Deformation in Nanoimprint Lithography / J. Vac. Sci. Technol. 19 : 2811 ~ 2815 google schola

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