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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박규진 (금오공과대학교 기계공학과) 양진오 (LG화학) 이재종 (한국기계연구원) 곽호상 (금오공과대학교 기계시스템공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제15권 제2호
발행연도
2016.1
수록면
74 - 80 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2016

히트 파이프를 이용한 열경화성 나노임프린트 장비용 열판의 온도 균일도 향상
박규진 ,  양진오 ,  이재종 외 1명 반도체디스플레이기술학회지 2016.01 학술저널

2007

히트 파이프를 이용한 나노임프린트용 대면적 핫플레이트의 온도 균일화 방안
박규진 ,  양진오 ,  곽호상 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.05 학술대회자료
고온 나노임프린트 장비용 핫플레이트의 열제어에 대한 수치모사
박규진 ,  곽호상 ,  신동원 외 1명 한국전산유체공학회 학술대회논문집 2007.04 학술대회자료

초록· 키워드

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This study presents a thermal device specially designed for thermal nanoimprint lithography equipments, which requires the capability of rapid heating and cooling, high temperature uniformity and the material strength to endure high stamping pressure. The proposal to meet these requirements is a planar-type hot plate extensible to a large area, in which long circular cartridge heaters and heat pipes are installed inside in parallel. The heat pipes are connected to the outside water cooling chamber. A hot plate made of stainless steel is fabricated with a dimension $240mm{\times}240mm{\times}20mm$. Laboratory experiments are conducted to examine the thermal performance of the hot plate. The results illustrate that the employment of heat pipes leads to a notable enhancement of temperature uniformity in the device and provides an efficient heat delivery from the hot plate to outside. It is verified that the suggested hot plate could be a feasible thermal tool for thermal nanoimprint lithography, satisfying the major design requirements.
#Hot plate #Heat pipe #Rapid heating and cooling #Temperature uniformity #Thermal namoimprint lithography

목차

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참고문헌 (13)

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Gary, S.M. / 2003 / Fundamentals of Semiconductor Fabrication / John Wily & Sons google schola Chou, S. Y. / 1996 / Nanoimprint Lithography / J. Vac. Sci. Technol. 14(6):4129~4133 google schola Becker, H. / 2000 / Hot Embossing as a Method for the Fabrication of Polymer High Aspect Ratio Structures / Sensors and Actuators A, Physical 84:130~135 google schola Pang, S. W. / 1998 / Direct Nano-Printing on Al Substrate Using a SiC Mold / J. Vac. Sci. Technol 16:1145~1149 google schola Hirai, Y. / 2001 / Study of the Resist Deformation in Nanoimprint Lithography / J. Vac. Sci. Technol 19:2811~2815 google schola

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