원자층 증착법(ALD)으로 제조된 지르코니아 박막의 미소 스크래치 평가

김시환; 안효석

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저자정보: 김시환 (서울과학기술대학교) 안효석 (서울과학기술대학교)

저널정보: 한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 2016년도 한국윤활학회 제63회 추계학술대회 및 Lubricants Symposium

발행연도: 2016.10

수록면: 149 - 150 (2page)

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