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고주파 프로브 진단기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
변형 부유 고조화법을 이용한 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
플라즈마 진단을 위해 개발한 전원장치 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
플라즈마 분광 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
용량성 결합 플라즈마에서 위상분해광방출 진단법을 이용한 전자가열 및 전자빔 거동 이해와 이를 통한 새로운 플라즈마 밀도 측정 기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
량뮤어 프로브 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
컴퓨터 기반 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
플라즈마 임피던스 변화를 이용한 대기압 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
증착 플라즈마에서 부유 프로브의 과도전압 분석을 통한 전자온도와 이온 밀도 측정 방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
플라즈마 변수들과 웨이퍼 표면온도의 공간상 분포에 대한 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
ICP etching 시스템의 RF bias 전극에서 측정된 전기적 특성과 플라즈마 파라미터와의 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
정전용량 변화를 이용한 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
플라즈마 진단용 레이저의 버스트모드 동작을 위한 Q-switching 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
레이저 스펙클 패턴을 이용한 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
마이크로웨이브 기반 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
플라즈마 진단을 위한 다이오드레이저 기반의 Nd:YAG 레이저 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
ICP etching 시스템의 RF bias 전극에서 측정된 전기적 특성과 공정변수와의 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
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