RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 박막 증착에 관한 연구

이우식

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이우식 (가천대학교)

저널정보: 한국정보전자통신기술학회 한국정보전자통신기술학회 논문지 한국정보전자통신기술학회 논문지 제11권 제6호

발행연도: 2018.12

수록면: 772 - 777 (6page)

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본 논문은 RF 마크네트론 스퍼터링 장비를 이용하여 ITO 유리에 N-type 및 P-type을 증착하였다. N-Type의 오믹접촉은 모든 조건에서 잘 되었다. 면저항은 RF Power가 증가할수록 면 저항이 증가되는 현상을 나타내었다. 증착한 박막의 표면을 분석해 본 결과, RF Power가 250W이고, 기판온도가 250℃의 조건에서 입자가 균일하고 크기가 일정한 박막이 증착 된 것으로 측정되었다. P-Type은 모든 조건에서 오믹접촉이 잘 이루어졌으며 면저항은 RF Power가 증가할수록 증가되는 것으로 나타내었다. RF Power가 증가할수록 두께가 증가하고 안정화 된 것을 알 수가 있었다. PN junction 박막과 NP junction 박막은 스퍼터링 시간이 증가할수록 박막의 두께가 증가하고 안정화 된 것을 알 수가 있었다. PN junction 박막을 제작한 결과, 변환효율은 스퍼터링 시간이 10분일 때 0.2로 가장 우수하였다.

#N-type #Ohmic contact #P-type #RF Magnetron Sputtering #Sheet resistance #Substrate temperature

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[학술지(정기간행물)] - 김창봉 / 2011 / 박막 실리콘 태양전지의 반사코팅 설계기술 연구 / 한국산학기술학회논문지 12 (11) : 5172 ~ 5177

[학술지(정기간행물)] - 김태욱 / 2015 / 에너지 하베스팅이 적용된 스펙트럼 감지 방안 / 한국인터넷방송통신학회 논문지 15 (3) : 73 ~ 76

[학술지(정기간행물)] - Minsung Jeon / 2009 / Intrinsic Amorphous Silicon (a-Si:H) Thin Film Prepared by Using Remote Plasma Chemical Vapor Deposition Method and Used as a Passivation Layer for a Heterojunction Solar Cell / Journal of the Korean Physical Society 54 (1) : 194 ~ 199

[학술지(정기간행물)] - C. Li / 2006 / Silver nanoisland induced synthesis of ZnO namostructures by vapor phase transport / J. Nanoscience and Nanotechnology 6 : 1467 ~ 1473

[학술지(정기간행물)] - A. Bolonkin / 2008 / New concept of high speed AB solar cell / IEEE Transactions on Aerospace and Electronic Systems 44 : 1538 ~ 1542

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