마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Indium-Tin Oxide 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구

조길호; 김여중; 김성종; 문경만; 이명훈

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자료유형: 학술저널

저자정보: 조길호 김여중 김성종 문경만 이명훈

저널정보: 한국마린엔지니어링학회 Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 한국박용기관학회지 제24권 6호

발행연도: 2000.11

수록면: 733 - 741 (9page)

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