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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.1
- 수록면
- 620 - 624 (5page)
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RF 마그네트론 스퍼터링 법을 이용하여 코닝 1737 유리기판위에 IGZO 박막을 증착하고 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성을 연구하였다. RF 파워는 30, 50, 70, 90 W로 변화를 주어 박막을 증착하였다. 모든 IGZO 박막은 가시광 영역에서 (400 nm ~ 800 nm) 83% 이상의 평균 투과율을 보였다. XRD 분석 결과 RF 파워의 변화에 상관없이 모든 IGZO박막은 결정성이 없는 것으로 보아 비정질 구조임을 확인하였다. 전기적 특성 분석 결과 10.3 cm2 V-1s-1의 높은 이동도와 6.4×1,020 cm-3의 높은 캐리어 농도, 그리고 1.99×10-3Ωcm의 낮은 비저항을 확인하였다.
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A. Takagi / 2005 / / Thin Solid Films 486 : 38 ~
Chae-Seon Hong / 2006 / Effect of metal (Al, Ga, and In)-dopants and/or Ag-nanoparticles on the optical and electrical properties of ZnO thin films / Thin Solid Films 515 (3
Chun-Ju Tun / 2006 / Enhanced light output of GaN-based power LEDs with transparent Al-doped ZnO current spreading layer / IEEE Photonics Technology Letters 18 (1) : 274 ~ 27
D. M. Bagnall / 1998 / / J. Cryst. Growth 184 : 605 ~
E. Burstein / 1954 / / Phys. Rev. 93 : 632 ~
Chae-Seon Hong / 2006 / Effect of metal (Al, Ga, and In)-dopants and/or Ag-nanoparticles on the optical and electrical properties of ZnO thin films / Thin Solid Films 515 (3
Chun-Ju Tun / 2006 / Enhanced light output of GaN-based power LEDs with transparent Al-doped ZnO current spreading layer / IEEE Photonics Technology Letters 18 (1) : 274 ~ 27
D. M. Bagnall / 1998 / / J. Cryst. Growth 184 : 605 ~
E. Burstein / 1954 / / Phys. Rev. 93 : 632 ~
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