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김주은 (포항공과대학교) 박성민 (포항공과대학교) 서태원 (포항공과대학교) 성수원 (포항공과대학교) 윤주영 (포항공과대학교) 전길수 (포항공과대학교) 정윤영 (포항공과대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2021년도 대한전자공학회 하계종합학술대회 논문집
발행연도
2021.6
수록면
390 - 392 (3page)

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In this study, we propose a novel approach to improve the stability of a-IGZO TFTs by increasing the density of M-N bonding. To increase M-N bonding in a-IGZO, we first increased the oxygen vacancy (Vo) by applying a substrate bias during a-IGZO sputtering, followed by N<sub>2</sub> plasma treatment to fil the Vo with nitrogen. Consequently, a-^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10591103');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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