후열처리 온도에 따른 티타늄 코팅의 기계적 특성 평가

곽동열; 박태성; 이태훈; 김용식; 박익근

doi:10.7779/JKSNT.2019.39.5.284

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자료유형: 학술저널

저자정보: 곽동열 (한국수력원자력) 박태성 (서울과학기술대학교) 이태훈 (한국수력원자력) 김용식 (한국수력원자력) 박익근 (서울과학기술대학교)

저널정보: 한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 비파괴검사학회지 제39권 제5호

발행연도: 2019.10

수록면: 284 - 291 (8page)

DOI: 10.7779/JKSNT.2019.39.5.284

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티타늄 코팅은 우수한 강도와 열적, 화학적 안정성으로 인해 다양한 산업분야에 광범위하게 사용되고 있고 특정한 표면 특성을 얻거나 기계적 특성을 향상시키기 위해 후열처리를 수행한다. 이 때 후열처리 조건에 따라 코팅층 내부 입자의 크기, 밀도, 형태, 결정 구조 등과 같은 미세구조적 특성들이 변화되고 티타늄 코팅의 구조적, 기능적인 특성에 많은 영향을 미친다. 본 연구에서는 DC 마그네트론 스퍼터링 기법으로 실리콘 웨이퍼 위에 1 μm 두께의 티타늄 박막을 증착하였고 350 ℃에서 800 ℃까지 온도를 다르게 후열처리를 수행하였다. 제작된 시험편을 SEM, AFM, XRD의 미세구조 분석 기법들을 적용하여 분석하였고 나노인덴테이션과 초음파현미경을 이용하여 기계적 물성을 측정하였다. 후열처리 온도에 따른 미세구조의 특성과 기계적인 특성과의 상관 관계를 확인하여 제작된 티타늄 코팅의 기계적 특성을 평가하였다.

#티타늄 코팅 #후열처리 #미세구조 #기계적 특성 #Titanium Coating #Post Annealing Process #Microstructure #Mechanical Properties

참고문헌 (22)

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Y. L. Jeyachandran / 2006 / Properties of Titanium Thin Films Deposited by Dc Magnetron Sputtering / Materials Science & Engineering A 431:277~284

E. Zalnezhad / 2013 / Investigating the Fretting Fatigue Life of Thin Film Titanium Nitride Coated Aerospace Al7075-T6 Alloy / Materials Science &Engineering A 559:436~446

윤지언 / 2008 / TiO2 buffer layer의 후열처리 온도 증가에 따른 PLZT 박막의 유전특성에 대한 연구 / Applied Science and Convergence Technology 17(6):560~565

정봉부 / 2013 / 벌지 실험을 통한 Ti 박막의 크기 효과 관찰 및 기계적 물성 측정 / 대한기계학회논문집 B 37(1):19~25

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